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在“工業(yè)過程自動控制”項目中，“敏感元件及傳感器開發(fā)”作為攻關課題進行攻關。

開發(fā)擴散硅2英寸硅片的芯片制備工藝、力敏器件封接工藝、硅杯加工工藝，以及薄膜濺射工藝，厚膜漿料配制及元件刻蝕、調阻等傳感器制造的新工藝。

開發(fā)了17種新型敏感材料，使敏感材料依靠國外的局面有了很大的改善。

擴散硅力敏器件、壓力傳感器、液位傳感器、薄膜鉑電阻、厚膜鉑電阻、電渦流傳感器等新產品，進行了小批量生產，并在電站故障診斷系統(tǒng)等工程中應用。在沈陽儀器儀表工藝研究所和大連儀表元件廠進行硅壓力傳感器的中試生產，產品的技術水平與當時國外同類產品水平相當。 

“八五”期間：加強傳感技術研究，開展“批量生產研究”

“傳感器技術研究”列為國家科技攻關。以“3-5-3”的原則安排，即以工業(yè)控制、測試儀器和機電一體化為服務對象，選擇力、磁、熱、濕、氣五大類傳感器為攻關重點，形成沈陽儀表工藝所、上海冶金所、 哈爾濱49所三個傳感器研發(fā)中心。

取得新技術、新工藝37項，開發(fā)了74個品種132規(guī)格的新產品，獲得國家專利15項。攻關期間銷售各類傳感器2360萬只，銷售收入13711萬元，創(chuàng)匯214萬美元。

首次開發(fā)了InSb磁敏薄膜和霍爾元件；小型廉價壓力傳感器、磁敏電流傳感器、厚膜壓力傳感器、高性能NTC熱敏電阻、可燃氣體傳感器、廉價濕度傳感器等產品開始批量生產。

“九五”期間： “工程化研究”正式立項

“傳感器技術研究”繼續(xù)列為國家重點科技攻關項目。攻關以提高技術水平、可靠性水平和產業(yè)化程度為目標，以市場需求為導向，進行工程化、新產品開發(fā)、共性關鍵技術研究。

獲得科技成果59項，有6項成果進行了技術轉讓，取得專利32 項，其中發(fā)明專利7項。攻關期間累計銷售各類傳感器1260萬只，銷售收入25218萬元，創(chuàng)匯907萬美元。

工業(yè)變送器用硅壓力傳感器、OEM通用壓力傳感器、厚膜壓力傳感器、石英諧振式稱重傳感器、InSb霍爾元件、厚膜鉑電阻，α-Fe203可燃氣體傳感器、廉價濕度傳感器進行工程化研究，18個品種75個規(guī)格新型傳感器中試生產，年生產能力2257萬只，石英諧振式稱重傳感器的批量生產在國內外屬于首創(chuàng)，開發(fā)了兩大系列7個品種的電子衡器，建立了深圳清華傳感設備公司。

再識中國傳感器

分析中國傳感器體系建設、企業(yè)發(fā)展情況，分析傳感器產業(yè)鏈及市場狀況。結合傳感器代表性企業(yè)及新產品新技術，分析中國傳感器地位。       

目前形成了以中科院研究所、國家重點實驗室、高等院校為核心的研發(fā)體系。以傳感器國家工程研究中心、企業(yè)為主體的產業(yè)體系。以物聯(lián)網、智能制造、人工智能、消費電子、民生工程等為對象的應用體系。

傳感器企業(yè)統(tǒng)計標準及分類情況：

傳感器生產制造型企業(yè)產品分類：

傳感器區(qū)域產業(yè)布局分析：

傳感器分類標準：

傳感器分類（按照檢測原理分類）：

傳感器產業(yè)鏈“基本”打通：

傳感器標準制訂工作卓有成效

可以估計，2019年中國傳感器市場銷售額大約1000億元人民幣（來源：前瞻產業(yè)研究院）：

國內傳感器代表性企業(yè)一覽：

傳感器研發(fā)水平不斷提高，涌現了一批新技術：

中國傳感器（技術、產業(yè)）發(fā)展趨勢：

1、系統(tǒng)化

系統(tǒng)化指不把傳感器或傳感技術作為一種單獨器件或技術考慮，而是按照信息論和系統(tǒng)論要求，應用工程研究方法，強調傳感器和傳感技術發(fā)展的系統(tǒng)性和協(xié)同性。

將傳感器置于信息識別和處理技術的一個重要組成部分，將傳感技術與計算機技術、通信技術協(xié)同發(fā)展。必須系統(tǒng)地考慮傳感技術、計算技術、通信技術之間的獨立性、相融性、依存性。而智能網絡化傳感器正是這種發(fā)展趨勢的主要標志之一。

2、創(chuàng)新性

創(chuàng)新性主要包括利用新原理、新效應、新技術。

如利用納米技術，制作納米傳感器。與傳統(tǒng)傳感器相比，尺寸減小、精度提高、性能大大改善，為傳感器的制作提供了許多新方法。

利用量子效應研制具有敏感某種被測量的量子傳感器，像共振隧道二極管、量子阱激光器、量子干涉部件等，具有高速(比電子敏感器件快1000倍)、低耗(能耗比電子敏感器件低1000倍)、竊效、高集成度、高效益等優(yōu)點。

利用新材料開發(fā)新型傳感器。如利用納米材料，制作的鈀納米112傳感器、金納米聚合物傳感器、碳納米聚合物傳感器、電阻應變式納米壓力傳感器。

利用納米材料的巨磁阻效應，科學家們己經研制出各種“納米磁敏傳感器”。研發(fā)特種用途、特種環(huán)境、特殊工藝的傳感器。如在高溫、高壓、耐腐蝕、強輻射等環(huán)境F的傳感器。

利用3D打印技術的傳感器。柔性傳感器，量子傳感器等。

3、微型化

在自動化和工業(yè)應用領域，要求傳感器本身的體積越小越好。

傳感器的微型性是指敏感元件的特征尺寸為“毫米(mm)—微米(um)—納米(nm)”類傳感器。這類傳感器具有尺寸上的微型性和性能上的優(yōu)越性，要素上的集成性和用途上的多樣性，功能上的系統(tǒng)性和結構上的復合性。

傳感器的微型化決不僅僅是特征尺寸的縮微或減小，而是一種有新機理、新結構、新作用和新功能的高科技微型系統(tǒng)。其制備工藝涉及MEMS技術、1C技術、激光技術、精密超細加工技術等。

4、智能化

傳感器的智能化是指傳感器具有記憶、存儲、思維、判斷、自診等人工智能。其輸出不再是單一的模擬信號，而是經過微處理器后的數字信號，甚至具有執(zhí)行控制功能。

技術發(fā)展表明：數字信號處理器(DSP)將推動眾多新型下一代傳感器產品的發(fā)展。隨著5G通信、大數據、AR、VR,云計算等的發(fā)展，以及機器人內動駕駛、人工智能等新技術應用，世界從原有的電了時代進入智能時代，傳感器也迎來一個新的智能化時代。

智能傳感器廣泛應用于消費電子、新型高端汽車、工業(yè)檢測與控制、智能醫(yī)用、智能農業(yè)、智能交通等領域。

美國圣何塞的Accenture實驗室，研宄出一種叫“智能塵埃”的傳感器。該傳感器極其微小，能測溫度、濕度、光等參數，該傳感器中嵌入了微處理器、軟件代碼、無線通信系統(tǒng)，可以噴灑到樹上或其他物體上，當檢測到異常時，能發(fā)出信號，對所在地區(qū)進行監(jiān)測。

5、無源化

傳感器多為非電量向電量的轉化，工作時離不開電源，在野外現場或遠離電網的地方，往往用電池或太陽能供電，研制微功耗的無源傳感器是必然的發(fā)展方向，既節(jié)省能源，又能提高系統(tǒng)壽命。

6、網絡化

網絡化是指傳感器在現場實現TCP/IP協(xié)議，使現場測控數據就近登臨網絡，在網絡所能及的范圍內實時發(fā)布和共享信息。要使網絡化傳感器成為獨立節(jié)點，關鍵是網絡接口標準化。目前己有“有線網絡化傳感器”和“無線網絡化傳感器”。

無線傳感器網絡是由布設在無人值守的監(jiān)控區(qū)內，具有通信與計算能力的微小傳感器節(jié)點組成，根據環(huán)境自主完成指定任務的“智能”自治測控網絡系統(tǒng)。無線傳感器網絡是一種測控網絡。

7、產業(yè)化

加速形成傳感器從研發(fā)到產業(yè)化生產的發(fā)展模式，揭示傳感器產業(yè)化規(guī)律，成本、價格之間的辯證關系，產業(yè)化是中國傳感器真正走出象牙之塔的關鍵之步。

在設計技術、制造技術、產業(yè)化技術、應用技術四個方面與國外差距明顯：

國內傳感器沒有進入“重點領域、重點行業(yè)、重大工程”，沒有進入國民經濟主戰(zhàn)場：

傳感器風險猶存

1、關鍵核心技術未能突破，產業(yè)化難點未能解決，高端核心傳感器依賴進口。
2、國內高檔傳感器的應用市場幾乎被國外壟斷

3、一些高端傳感器，國外對中國明確禁運

對中國傳感器產業(yè)的4點思考

1、重組國家隊，加強基礎研究，突出創(chuàng)新——培養(yǎng)多個領域傳感器領軍人才。

2、強化傳感器產業(yè)鏈的研究和建設——培育中國傳感器標志性企業(yè)。

3、用好、用活現有的MEMS傳感器芯片工藝線——培養(yǎng)傳感器大國工匠。

4、盡快解決工業(yè)基礎類傳感器中“有器無芯”問題——培養(yǎng)眾多傳感器企業(yè)家

結束語

來源：傳感器國家工程研究中心